1. 設備功能 :
2. 設備尺寸: 1760(L)×1340(W)×2200(H)(據情況可有改動）
3. 工作臺高度: 900±10mm
4. 重量:700kg
5. 工作臺尺寸: 400×500mm
6. 基板尺寸: 470X370mm(寬度方向為370mm)
7. 基板厚度: 0.4～1.1mm8. 平臺平整度: ±0.01mm
8. 除塵率: >97%(以6μm粒子測試)
9. 清洗速度范圍: 0-3m/min
10. 生產效率: 20-30s/pcs
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